उत्पाद का विवरण
उत्पत्ति के प्लेस: चाइना में बना
ब्रांड नाम: Dayoo
भुगतान और शिपिंग की शर्तें
न्यूनतम आदेश मात्रा: बातचीत योग्य
मूल्य: बातचीत योग्य
प्रसव के समय: बातचीत योग्य
भुगतान शर्तें: बातचीत योग्य
पवित्रता: |
96%, 99% |
सामग्री: |
92% एल्यूमिना पाउडर |
आकार: |
स्वनिर्धारित |
सतह खत्म: |
पॉलिश |
आकार: |
अनुकूलन |
गुण: |
विद्युत इन्सुलेशन |
प्रकार: |
सिरेमिक बॉल |
आवेदन: |
औद्योगिक सिरेमिक |
थर्मल विस्तार गुणांक: |
8 x 10^-6 /के |
तन्यता ताकत: |
250 एमपीए |
अधिकतम परिचालन तापमान: |
1800 ° C |
एल्यूमिना सामग्री: |
92% और 95% |
आनमनी सार्मथ्य: |
350 एमपीए |
अधिकतम उपयोग तापमान: |
1,400 डिग्री सेल्सियस |
Water Absorption: |
0 |
पवित्रता: |
96%, 99% |
सामग्री: |
92% एल्यूमिना पाउडर |
आकार: |
स्वनिर्धारित |
सतह खत्म: |
पॉलिश |
आकार: |
अनुकूलन |
गुण: |
विद्युत इन्सुलेशन |
प्रकार: |
सिरेमिक बॉल |
आवेदन: |
औद्योगिक सिरेमिक |
थर्मल विस्तार गुणांक: |
8 x 10^-6 /के |
तन्यता ताकत: |
250 एमपीए |
अधिकतम परिचालन तापमान: |
1800 ° C |
एल्यूमिना सामग्री: |
92% और 95% |
आनमनी सार्मथ्य: |
350 एमपीए |
अधिकतम उपयोग तापमान: |
1,400 डिग्री सेल्सियस |
Water Absorption: |
0 |
अर्धचालक अनुप्रयोगों के लिए 10 4 ओम * सेमी के वॉल्यूम प्रतिरोध के साथ उच्च शुद्धता एल्यूमीनियम सिरेमिक
अर्धचालक-विशिष्ट एल्यूमिना सिरेमिक घटकों की यह श्रृंखला 99.6% अति-उच्च शुद्धता Al2O3 सामग्री का उपयोग करके सटीक टेप कास्टिंग और उच्च तापमान सिंटरिंग प्रक्रियाओं के माध्यम से निर्मित की जाती है।उत्पाद उत्कृष्ट इन्सुलेशन प्रदर्शित करते हैं, संक्षारण प्रतिरोध, और आयामी स्थिरता, SEMI मानक F47 स्वच्छता आवश्यकताओं को पूरा।
वेफर्स का निर्माणः उत्कीर्णन मशीनों के सिरेमिक भाग, प्रसारण जहाज
पैकेजिंग और परीक्षणः जांच कार्ड सब्सट्रेट, परीक्षण सॉकेट
उपकरण के घटक: रोबोट अंत प्रभावक
वैक्यूम प्रणाली: इलेक्ट्रोस्टैटिक चक बेस
ऑप्टिकल निरीक्षणः लिथोग्राफी मशीन के लिए सिरेमिक गाइड
✓ अल्ट्रा-क्लीनः धातु आयनों की मात्रा <0.1ppm
✓ परिशुद्धता आयामः सहिष्णुता ±0.05mm/100mm
✓ प्लाज्मा प्रतिरोधः उत्कीर्णन दर <0.1μm/h
✓ कम उत्सर्जनः टीएमएल<0.1% सीवीसीएम<0.01%
✓ उच्च विश्वसनीयताः 1000 थर्मल चक्रों को पार करता है
पैरामीटर | विनिर्देश | परीक्षण मानक |
---|---|---|
भौतिक शुद्धता | Al2O3≥99.6% | जीडीएमएस |
वॉल्यूम प्रतिरोध | >1014Ω·cm | एएसटीएम डी257 |
डायलेक्ट्रिक निरंतर | 9.8@1MHz | आईईसी 60250 |
झुकने की शक्ति | ≥400 एमपीए | आईएसओ 14704 |
सीटीई | 7.2×10−6/°C | DIN 51045 |
सतह की कठोरता | Ra≤0.1μm | आईएसओ 4287 |
आउटगैसिंग | टीएमएल <0.1% | एएसटीएम E595 |
सामग्री की तैयारी:
नैनो ग्रेड Al2O3 पाउडर (D50≤0.5μm)
उच्च शुद्धता वाली गेंद मिलिंग (Y2O3-MgO सिंटरिंग एड्स)
ढालने की प्रक्रिया:
टेप कास्टिंग (मोटाई 0.1-5 मिमी)
आइसोस्टैटिक प्रेसिंग (200MPa)
सिंटरिंग नियंत्रण:
बहु-चरण वायुमंडल सिंटरिंग (1600°C/H2)
एचआईपी पोस्ट-ट्रेटमेंट (1500°C/150MPa)
परिशुद्धता मशीनिंग:
लेजर प्रसंस्करण (±5μm)
अल्ट्रासोनिक ड्रिलिंग (आस्पेक्ट अनुपात 10:1)
सफाई एवं निरीक्षण:
मेगासोनिक सफाई (क्लास 1 क्लीनरूम)
SEMI F47 कण परीक्षण
️ भंडारणः वर्ग 100 स्वच्छ पैकेजिंग
️ स्थापना वातावरणः 23±1°C आरएच 45±5%
️ सफाई: केवल अर्धचालक ग्रेड विलायक
️ हैंडलिंगः कार्यात्मक सतहों के साथ प्रत्यक्ष संपर्क से बचें
स्वच्छता सत्यापनः वीडीए19 परीक्षण रिपोर्ट
विफलता विश्लेषण: एसईएम/ईडीएस सूक्ष्म विश्लेषण
कस्टम विकास: डीएफएम सह-डिज़ाइन
प्रश्न: वेफर के संपर्क सतह की स्वच्छता कैसे सुनिश्चित की जाए?
A: तीन सुरक्षाः
प्लाज्मा सतह सक्रियण
2 वैक्यूम पैकेजिंग + एन 2 भंडारण
3 स्थापना से पूर्व आयनित हवा की सफाई
प्रश्न: फ्लोरीन आधारित प्लाज्मा में प्रदर्शन?
A: विशेष उपचारित संस्करण:
• उत्कीर्णन दर <0.05μm/h
• AlF3 निष्क्रियता परत
• 3 गुना अधिक जीवनकाल
प्रश्न: अधिकतम प्रसंस्करण योग्य आकार?
एकः मानक 200×200 मिमी, 400×400 मिमी तक की विशेष प्रक्रिया।